[13p-S301-1~15] 6.2 カーボン系薄膜

[13p-S301-12] GCIB援用蒸着法で合成したDLC膜の光学定数とAr/C原子供給比の関係

〇宮本 黎美¹、西山 昭雄²、吉川 亮太²、田口 純志²、小松 啓志¹、齋藤 秀俊¹ (1.長岡技大工、2.野村鍍金)

キーワード：ダイヤモンドライクカーボン、ガスクラスターイオンビーム、光学定数

GCIB援用蒸着法によるDLC膜の合成において，クラスター源のアルゴンと蒸着源の炭素の原子供給比（Ar/C）を制御し，蒸着粒子に与えるエネルギーを変化させた．得られたDLC膜は，屈折率nと消衰係数kの二つの光学定数による手法を用いて，DLC膜のタイプ（a-C，a-C:H，ta-C，ta-C:H）を分類した．Ar/Cを変化させると、DLC膜のタイプ（屈折率、消衰係数、真密度）は変化した。