[13p-S301-1~15] 6.2 カーボン系薄膜

[13p-S301-14] 医療デバイスの応用に向けたDLC膜の密着性および耐久性評価

〇中村 優翔¹、並木 和茂²、平塚 傑工³、石黒 康志¹、平栗 健二¹ (1.電機大院工、2.ナミキメディカル、3.ナノテック)

キーワード：非晶質炭素薄膜、医療デバイス、耐久性

生体と接触をともなう検査機器は、DLCコーティングを施すことで患者が感じる不快感や痛みの低減に期待ができる。また、DLCコーティングを医療デバイスに施す場合、適切な膜厚とコストで安定した耐久性が要求される。本研究では、プラズマCVD法によりSUS基板に膜厚を変化させたDLC膜を成膜した。そして、医療デバイスに必要な機械的強度や滅菌洗浄の耐久性を評価し、医療デバイスに適切な膜厚を選定できるようにする。