[13p-S401-1~11] 1.5 計測技術・計測標準

[13p-S401-4] シリコン光導波路によるリング共振器を用いた温度計測技術の開発

〇河村 泰樹¹、入松川 智也¹、渥美 裕樹¹、武井 亮平¹、中野 享¹、浦野 千春¹ (1.産総研)

キーワード：温度計測、シリコン光導波路、リング共振器

本研究ではマイクロスケールの局所的な領域における高精度温度計測技術の開発を目的とし、シリコン光導波路によるリング共振器を温度計として応用することを目指している。本講演では開発したデバイスを、温度安定度が±5 mK以内となる高精度恒温槽と用いて標準用白金抵抗温度計と比較し、温度計として評価した結果について報告する。