09:00 〜 10:40
[21a-P03-3] PDMS微細流路構造高周波無線水晶振動子ガスセンサの開発
キーワード:ガスセンサ、水晶振動子センサ、微細流路
水素吸蔵材料のパラジウム(Pd)を水素感応膜として利用し,無線水晶振動子センサ技術と組み合わせることで,基本共振周波数66.65 MHzの高周波無線水晶振動子水素ガスセンサを開発した.また,実験を通じて,水素の爆発下限界以下となる濃度1%の水素ガス検出に成功した.
一般セッション(ポスター講演)
1 応用物理学一般 » 1.3 新技術・複合新領域
2021年9月21日(火) 09:00 〜 10:40 P03 (ポスター)
09:00 〜 10:40
キーワード:ガスセンサ、水晶振動子センサ、微細流路