2021年第82回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(ポスター講演)

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[21a-P03-1~7] 1.3 新技術・複合新領域

2021年9月21日(火) 09:00 〜 10:40 P03 (ポスター)

09:00 〜 10:40

[21a-P03-3] PDMS微細流路構造高周波無線水晶振動子ガスセンサの開発

阿藤 大輝1、木村 優仁1、加藤 史仁1、増本 憲泰1、野口 裕之1 (1.日工大)

キーワード:ガスセンサ、水晶振動子センサ、微細流路

水素吸蔵材料のパラジウム(Pd)を水素感応膜として利用し,無線水晶振動子センサ技術と組み合わせることで,基本共振周波数66.65 MHzの高周波無線水晶振動子水素ガスセンサを開発した.また,実験を通じて,水素の爆発下限界以下となる濃度1%の水素ガス検出に成功した.