[21a-P03-1~7] 1.3 新技術・複合新領域

[21a-P03-4] 電極埋め込み型PDMS微細流路無線駆動水晶振動子マイクロバランス

〇于 キ¹、加藤 史仁¹、須藤 豪己¹、関 翔太¹、増本 憲泰¹、野口 裕之¹、荻 博次²、松本 大³、松本 輝義³ (1.日工大、2.大阪大、3.パール光学工業(株))

キーワード：水晶振動子マイクロバランス、無線、ナノインプリントリソグラフィ

本研究では，埋め込み電極を有するPDMS製の微細流路中に，薄板水晶振動子を装填した構造のQCMを提案する．このQCMは，電磁波を用いることで水晶振動子の励振と信号受信を無線で行う．電極が水晶近傍に設置されている本QCMは，効果的に電磁波の送受信が可能となる．今回，低出力のネットワークアナライザを用いた純水中の動特性評価において，明確な共振スペクトルの検出に成功した．