[21p-P03-1~4] 3.2 材料・機器光学

[21p-P03-2] ゾル-ゲル法を用いて成膜したジルコニア薄膜の赤外評価

〇村松 泰雅¹、鳥居 大希²、山田 逸成¹ (1.摂南大理工、2.滋賀県立大工)

キーワード：ゾル-ゲル法、赤外、ジルコニア薄膜