[22a-P02-1~8] 6.2 カーボン系薄膜

[22a-P02-8] 層状窒化炭素薄膜の電気伝導の測定

〇林 竜矢¹、高間 滋己¹、羽渕 仁恵¹、飯田 民夫¹ (1.岐阜高専)

キーワード：窒化炭素

２次元の炭素と窒素の結晶が層状になった層状窒化炭素(CN)は光触媒性を持ち、バンドギャップが2.8eVの新しい半導体材料として注目されている。CNはメラミンなどを熱縮合することで合成が可能であり、気相成長法を用いることで層の配向性の高いCN薄膜を得ることができる。n-Siウエハ上に堆積したCN薄膜は整流作用のあるIV特性を示した。これはCNとn-Siとの接触にあるエネルギー障壁に起因すると考えられる。