[22a-P06-1~12] 6.6 プローブ顕微鏡

[22a-P06-2] STMに組みこんだqPlusセンサの熱振動を利用した力計測の取り組み

〇大江 弘晃¹ (1.横市大)

キーワード：原子間力顕微鏡、熱振動、大気環境計測

音叉型水晶振動子製のFM-AFM用力センサー（qPlusセンサー）を組み込んだ大気型STMを構築し、qPlusセンサーの熱振動スペクトルに対する探針試料間力の効果を検証する。