[22a-P07-1~6] 7 ビーム応用(ポスター)

[22a-P07-5] ディープラーニングを利用した二次電子放出の研究

〇楠見 将啓¹、平井 義彦¹、安田 雅昭¹ (1.大阪府大院工)

キーワード：二次電子放出、ディープラーニング、仕事関数

ディープラーニングを用いた簡単な二次電子収率の予測システムを構築した。学習用のデータには実験値を集めたデータベースを用いた。入力する情報は加速電圧、試料の原子番号、密度、族、仕事関数などとした。予測結果は原子番号の変化にともなう収率の増減が比較的よく再現出来た。仕事関数を除外した予測は収率の増減が実験値とは大きく異なっており、二次電子収率と仕事関数の相関を示唆する結果となった。