[22a-P07-1~6] 7 ビーム応用(ポスター)

[22a-P07-6] 極微小領域におけるGeのイオンビーム照射挙動

〇(M1)上田 貴大¹、大石 脩人¹、新田 紀子¹ (1.高知工大)

キーワード：イオンビーム照射、Ge