[23a-P01-1~4] 3.8 光計測技術・機器

[23a-P01-1] 単一光ファイバー式分光器を用いた基板洗浄のin-situ測定

〇室 幸市¹ (1.帝京大理工)

キーワード：分光器、光ファイバー、基板洗浄

IoT社会とビッグデータ活用への開発を背景に、超小型分光器の適用分野が広がっている。そこで、我々は光源を搭載した単一光ファイバー式の小型分光器を以前に提案した[1,2]。光ファイバーを対象物に直接接触させて観察が可能であり、液中等の環境下で計測が可能である。今回は、洗浄中（in-situ）におけるガラス基板の洗浄度の評価を試みた。