[23a-P11-1~18] 13.8 光物性・発光デバイス

[23a-P11-17] ワイドバンドギャップ半導体評価用連続温度可変フォトルミネッセンス装置

〇沖野 隼之介¹、内田 智之¹、杉江 隆一¹ (1.東レリサーチセンター)

キーワード：フォトルミネッセンス、ワイドバンドギャップ半導体、欠陥

顕微鏡用冷却加熱試料ステージを顕微フォトルミネッセンス(PL)装置に組み込むことで、低温–高温PLスペクトル測定装置を作製した。バンドギャップの異なる窒化ガリウム(GaN), 炭化ケイ素(4H-SiC), ガリウムリン(GaP)におけるPLスペクトル温度依存性を120 Kから500 Kにおいて測定した。GaNにおいては室温より高温のPL測定も含めてアレニウス型のモデル関数でよく再現され、高温域のPLスペクトル測定が必須であることを確認した。