[23p-P11-1~25] 17 ナノカーボン(ポスター)

[23p-P11-21] WS₂-Ti エッジコンタクト界面でのチタン原子と硫黄原子の相互拡散

〇立松 真一¹、濱田 昌也¹、濱田 拓也¹、宗田 伊理也¹、若林 整¹ (1.東工大)

キーワード：WS2、エッジコンタクト

層状半導体であるWS₂は、原子レベル の薄膜領域にて高い移動度とバンドギャップを持つことから近年注目を集めている。本研究ではWS₂とTiを用いて、電気特性的に優れており、積層ナノシートへのコンタクトが容易といった利点も持つエッジコンタクト構造を作成した。デバイス作成後アニールを行い、それによる電気特性の変化を確認したのち、その界面の状況をTEM-EELSによって確認した。