[23p-P12-1~11] 21 合同セッションＫ「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」(ポスター)

[23p-P12-4] ミストCVDによるZnOナノ粒子分散ZnMgO薄膜の作製

〇奈良 俊宏¹、小野田 翔悟¹、矢ヶ崎 司¹、田中 京輔¹、光野 徹也¹、小南 裕子¹、原 和彦¹ (1.静岡大工)

キーワード：ミスト化学気相法、酸化亜鉛、ナノ粒子