[23p-P13-1~22] 17 ナノカーボン(ポスター)

[23p-P13-1] 半導体上カーボンナノウォール（CNW）のバイアス電場下での成長促進

〇(M2)朱 儒成^1,2、Vishwakarma RiteshKumar¹、内藤 正美¹、梅野 正義¹、内田 秀雄² (1.シーズテクノ（株）、2.中部大学)

キーワード：カーボンナノウォール、マイクロ波 プラズマ　CVD、バッテリー

現在CNWを成長する主な方法の中で、マイクロ波プラズマCVDにおる直接成長は優れた方法であり、成長速度が速く、コストが低いという特徴があります^１）。 その方法にさらにバイアス電場を印加して、負電極の炭素イオンへの吸引作用を利用して、CNWの厚さを増加させると同時に、基板への膜の密着性を増加させることが出来ました。