15:15 〜 15:45 [18p-Z04-4] 酸化物半導体結晶Ga2O3およびIn2O3の準安定相発現機構の検討 〇熊谷 義直1、後藤 健1、富樫 理恵2、山口 智広3、村上 尚1 (1.東京農工大工、2.上智大理工、3.工学院大先進工)