15:00 〜 15:15 [17p-Z26-5] [第12回シリコンテクノロジー分科会研究奨励賞受賞記念講演] 大面積集積化に向けたPVD堆積ノーマリオフMoS2-nMISFETs 〇松浦 賢太朗1 (1.ソニー株式会社)