10:45 〜 11:00 [18a-Z16-7] ビルトインレンズマスクによる三次元フォトリソグラフィ(マスクパターンの最適化検討) 〇(B)大住 知暉1、安田 雅昭1、笹子 勝1、平井 義彦1 (1.阪府大工)