17:00 〜 17:50 [16p-P12-4] ウェット熱処理によるZrO2薄膜の強誘電相発現機構 〇柴山 茂久1、永野 丞太郎1、安坂 幸師1、坂下 満男1、中塚 理1,2 (1.名大院工、2.名大未来研)