09:30 〜 09:45 △ [16a-Z34-3] イオン照射を用いたScAlN薄膜の極性制御 〇(B)工藤 慎也1,2、天野 凌輔1,2、柳谷 隆彦1,2,3 (1.早大先進理工、2.材研、3.JST-CREST)