14:45 〜 15:00 [17p-Z13-5] 基板付き圧電薄膜構造におけるkt2評価法に寄生インダクタンスが与える影響 〇山中 恵理1,2、近藤 圭太1,2、龍見 亮汰1,2、柳谷 隆彦1,2,3 (1.早大先進理工、2.材研、3.JST-CREST)