15:30 〜 15:45 [19p-Z18-8] VUV光照射したCytopゲート絶縁層のエレクトレット効果とTFT特性 〇松岡 悟志1、太向 弘明1、堤 潤也2、長谷川 達生1 (1.東大工、2.産総研)