15:15 〜 15:30 [16p-Z32-7] 多結晶SiGe薄膜を用いた平面型ユニレグ熱電デバイスの作製と評価 〇小池 壮太1、柳澤 亮人1、黒澤 昌志2、野村 政宏1 (1.東大生研、2.名古屋大)