[16a-P04-1~6] 1.3 新技術・複合新領域

[16a-P04-5] ドライエッチングにより製作したメンブレン構造のNbO薄膜の顕微分光透過率測定とEDX分析

〇佐藤 美那¹、松谷 晃宏¹、津久井 遼²、木野 勝²、山本 広大²、栗田 光樹夫²、長田 哲也² (1.東工大 OFC、2.京大)

キーワード：メンブレン、EDX分析、顕微分光透過率測定

薄膜材料の透過率や組成分析では，成膜された材料を下地基板とともに評価分析することが多いが，薄膜材料単体の透過率や組成分析を行うことができれば，下地基板の影響を適切に分離できる可能性がある。ここでは酸化ニオブNbO膜について，Deep-RIEやXeF2気相エッチングにより製作したメンブレン構造の分光透過率や組成分析を行った結果について報告する。