[16a-Z34-1~11] CS.1 2.4 加速器質量分析・加速器ビーム分析、7.5 イオンビーム一般のコードシェアセッション

[16a-Z34-1] Arイオン照射Si基板上へのAu蒸着によるAuナノワイヤの成長

〇(M2)水谷 仁美¹、高廣 克己¹ (1.京工繊大)

キーワード：ナノワイヤ、イオンビーム

我々はSi基板上に金属ナノ粒子を作製し、ナノ粒子のスパッタ収率を測定している。スパッタ収率の粒径依存性を求めるためには、粒径の揃ったナノ粒子の作製が必要である。粒径の均一化には、Si基板の前処理が有効であると考え、低エネルギーArイオン照射したSi基板にAuを真空蒸着したところ、イオン照射周縁部にAuナノワイヤ（NWs）の形成が見出された。イオン照射量およびエネルギーとAu NW成長の関係について報告する。