[16p-P02-1~4] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

[16p-P02-4] Ge基板に替わりGe-on-Siを用いることによる歪みSiGeへのクラック発生抑制

〇我妻 勇哉¹、Md. Mahfuz Alam^1,2、岡田 和也¹、山田 道洋³、浜屋 宏平³、澤野 憲太郎¹ (1.東京都市大学　総合研究所、2.Univ. of Barishal、3.阪大基礎工 CSRN)

キーワード：SiGe、歪み