2021年第68回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

8 プラズマエレクトロニクス » 8.8 プラズマエレクトロニクス分科会30周年記念特別セッション

[16p-Z12-1~17] 8.8 プラズマエレクトロニクス分科会30周年記念特別セッション

2021年3月16日(火) 13:00 〜 19:45 Z12 (Z12)

明石 治朗(防衛大)、松井 信(静大)、桑畑 周司(東海大)、梅澤 義弘(東京エレクトロン宮城)

13:00 〜 13:30

[16p-Z12-1] [プラズマエレクトロニクス分科会30周年記念特別セッション招待講演] マイクロプラズマ研究が創出した連携研究の機会と可能性

占部 継一郎1 (1.京大院工)

キーワード:プラズマ、大気圧プラズマ、プラズマ診断

プラズマ工学の発展には「同じプラズマ源を多機関が連携して診る・使う」ことが寄与する場合があり,大気圧低温プラズマ研究ではその可搬性の高さから若手研究者でも賄える少ない投資で多彩な連携研究の機会が得られる.固体や液体サンプルと同様にプラズマ源が動くことにより,新しい取り組みが生まれる可能性がある.講演では筆者が関わった連携研究を中心に,これまでの経験や今後の展望について紹介したい.