[16p-Z12-1~17] 8.8 プラズマエレクトロニクス分科会30周年記念特別セッション

[16p-Z12-12] ナノ粒子取り込みによるSiNxの低温プラズマCVD製膜

〇(M2)佐々木 勇輔¹、吉田 知晃¹、阿部 滉平¹、山本 晃大¹、鎌滝 晋礼¹、奥村 賢直¹、板垣 奈穂¹、古閑 一憲^1,2、白谷 正治¹ (1.九州大学、2.自然科学総合機構)

キーワード：プラズマCVD、ナノ粒子、半導体