[16p-Z23-1~10] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

[16p-Z23-10] β-FeSi₂ pnホモ接合素子の作製と光応答特性

〇木下 涼太¹、山戸 一輝¹、寺井 慶和¹ (1.九工大情報工)

キーワード：β-FeSi2、pnホモ接合、フォトダイオード

これまで我々は，不純物添加によるβ-FeSi₂の伝導制御を試み，Al添加濃度1.4%以上で高正孔密度(p⁺ ~ 10¹⁹ cm^-3)のp型伝導を得た．また，Sb添加量と成長時のSi/Fe組成比制御により，電子密度(n = 10¹⁷ ~ 10¹⁹ cm^-3)の制御に成功してきた．本研究では，Si基板上へp⁺-β-FeSi₂/n⁺-β-FeSi₂ホモ接合をエピタキシャル成長し，電流-電圧(I-V)および分光感度特性を評価したので報告する．