[16p-Z25-1~10] 13.1 Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション

△ [16p-Z25-4] パルスレーザによる二光子吸収過程を利用した重イオン誘起SETパルス波形のエネルギー依存性の再現

〇唐木 達矢^1,2、小林 大輔²、廣瀬 和之^1,2 (1.東大院工、2.宇宙研)

キーワード：ソフトエラー、ベッセルビーム、二光子吸収過程

半導体デバイスソフトエラーの原因となる重イオン入射時の過渡電流波形をパルスレーザよる二光子吸収過程を利用して評価した．低エネルギー酸素イオンがSiPINフォトダイオードに照射された際の電流波形の再現に成功し，加速器のエネルギー条件の隙間を埋めるようなSET波形のエネルギー依存性を再現することに成功した．このエネルギー補完方法は，バルクやSOIのMOSFETに適用できる可能性がある．