16:30 〜 16:45
[16p-Z26-12] 【注目講演】強誘電体薄膜における分極反転挙動のナノスケールマッピング
キーワード:強誘電体、プローブ顕微鏡、酸化ハフニウム
本講演では,ナノスケール強誘電分極反転挙動のイメージングを可能とする新たな手法である局所C-Vマッピング法を用いた薄膜評価について述べる.
一般セッション(口頭講演)
CS コードシェアセッション » 【CS.5】 6.1 強誘電体薄膜、13.3 絶縁膜技術、13.5 デバイス/配線/集積化技術のコードシェアセッション
16:30 〜 16:45
キーワード:強誘電体、プローブ顕微鏡、酸化ハフニウム