[17a-P05-1~10] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[17a-P05-2] スマートウィンドウに向けた二酸化バナジウム膜のミスト CVD 法による作製と光学特性評価

〇(DC)股村 雄也¹、池之上 卓己¹、三宅 正男¹、平藤 哲司¹ (1.京大エネ科)

キーワード：二酸化バナジウム、ミスト CVD、スマートウィンドウ

二酸化バナジウム (VO₂) が温度に応じて自律的に赤外線透過量を変化させるスマートウィンドウの材料として注目されている。これまで種々の VO₂ 膜作製プロセスが提案されているが、生産性が低いことや成膜コストが高いことが実用化に向けた課題の一つである。本研究では低コストかつ高生産性の成膜プロセスであるミスト CVD 法で、原料溶液の溶媒を検討することにより、他のプロセスと同等の光学特性を示す VO₂ 膜を得た。