2021年第68回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(ポスター講演)

6 薄膜・表面 » 6.3 酸化物エレクトロニクス

[17a-P05-1~10] 6.3 酸化物エレクトロニクス

2021年3月17日(水) 10:00 〜 10:50 P05 (ポスター)

10:00 〜 10:50

[17a-P05-4] ケミカルリフトオフ法を用いたλ-Ti3O5エピタキシャル自立膜の作製

〇陳 昊1、廣瀬 靖1、長谷川 哲也1 (1.東大院理)

キーワード：ケミカルリフトオフ、犠牲層、自立膜