[17a-Z22-1~10] 11.4 アナログ応用および関連技術

△ [17a-Z22-10] 超伝導転移端型ガンマ線マイクロカロリメータの多画素化に適した三層メンブレンの熱コンダクタンスの評価

〇(P)菊地 貴大¹、神代 暁¹、早川 亮大^1,3、藤井 剛¹、浮辺 雅宏¹、平山 文紀¹、ライアン スミス²、大野 雅史² (1.産総研、2.東大、3.都立大)

キーワード：転移端センサー、三層膜メンブレン、熱コンダクタンス

窒化ケイ素（Si_xN_y）単層膜メンブレンの熱コンダクタンスはよく研究されている。だが、従来のSi_xN_y単層膜メンブレンでは、その上に成膜した転移端センサーの超伝導特性が不均一になる可能性があった。そこで我々は二酸化ケイ素（SiO₂）を用いた三層（SiO₂/Si_xN_y/SiO₂）メンブレンを採用した。だが、三層メンブレンの熱特性は未知であった。本稿では、その知見を得たので報告する。