2021年第68回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

[17a-Z33-1~8] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

2021年3月17日(水) 10:00 〜 12:00 Z33 (Z33)

有元 圭介(山梨大)

10:00 〜 10:15

[17a-Z33-1] 界面変調固相成長法で形成したSn添加多結晶Ge極薄膜/絶縁基板の電気特性に与えるアニール効果

〇千代薗 修典1、原 龍太郎1、佐道 泰造1 (1.九大システム情報)

キーワード：多結晶ゲルマニウム