[17p-P06-1~11] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[17p-P06-7] ゾルゲル法で成膜したMg_xZn_1-xO薄膜の電気的特性に対するポストアニールの効果

〇安部 功二¹、浜田 雄史¹ (1.名古屋工業大)

キーワード：酸化亜鉛、透明導電膜