[17p-P06-1~11] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[17p-P06-9] In₂O₃ TFTバックチャネルへの絶縁膜溶液塗布の影響

〇(B)熊本 勇紀¹、相川 慎也¹ (1.工学院大工)

キーワード：薄膜トランジスタ、パッシベーション膜