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[17p-Z02-2] 原子変位によるMnTe薄膜のβ→α多形変化
キーワード:MnTe、多形変化、変位型相変態
MnTe多形体薄膜は、MnおよびTe原子の僅かなズレによる多形変化で物理特性に大きな変化を生じ、アモルファス/結晶間相変化を利用した相変化材料と比較して、高速かつ省エネルギーなメモリ動作が可能であると期待されている。この様な変位型相変態の発現には、周囲の基板や電極からの拘束が影響していると考えられる。本研究では、W電極からの拘束に伴い、MnTe薄膜のβ→α多形変化メカニズムにどの様な違いがあるかを調査した。