[17p-Z02-1~7] 相変化メモリ材料の進展と将来展望

[17p-Z02-6] カルコゲナイド系相変化材料の発展と今後の展望

〇齊藤 雄太¹ (1.産総研デバイス技術)

キーワード：相変化材料、不揮発性メモリ、相変化メモリ

次世代不揮発性メモリの一つとして注目されている相変化メモリ(PCRAM)用の材料として、遷移金属系の相変化材料、および超格子型の相変化材料について、従来材料との違いや、作製手法について紹介しする。