[17p-Z15-1~19] 1.4 エネルギー変換・貯蔵・資源・環境

[17p-Z15-6] 透明太陽電池の効率向上に向けた薄膜積層プロセスの検討

〇小関 敬祐¹、山田 雅也¹、森田 廣¹ (1.山口東京理科大工)

キーワード：透明太陽電池

これまで、上部にp型NiO系半導体、下部にn型ZnO系半導体を積層する構造を用い、各層に元素を添加することで、透明太陽電池性能の改善に成功してきた。原理的に発電効率向上には、バンドギャップの小さいZnO系薄膜層を上部に配設すべきである。しかし、工程中の熱処理や酸化体積膨張による残存内部応力で膜が剥がれる問題があり、実現できなかった。今回、剥離原因である膜の体積変化を緩和して積層を行い、変換効率向上を試みた。