[17p-Z18-1~16] 9.2 ナノ粒子・ナノワイヤ・ナノシート

[17p-Z18-5] Si上InAs/GaSbコアシェルナノワイヤ縦型サラウンディングゲートトランジスタの試作

〇蒲生 浩憲¹、本久 順一¹、冨岡 克広¹ (1.北大量集センター)

キーワード：ナノワイヤ、トランジスタ