2021年第68回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

3 光・フォトニクス » 3.7 レーザープロセシング

[18a-Z04-1~11] 3.7 レーザープロセシング

2021年3月18日(木) 09:00 〜 12:00 Z04 (Z04)

中村 大輔(九大)、佐藤 雄二(阪大)

11:00 〜 11:15

[18a-Z04-8] ドライレーザーピーニング効果に及ぼすフェムト-ピコ秒領域でのパルス幅依存性

西端 樹1、吉田 雅幸1、伊藤 佑介2、杉田 直彦2、廣瀬 明夫1、佐野 智一1 (1.阪大院工、2.東大院工)

キーワード:超短パルスレーザー、ピーニング

ドライレーザーピーニングにおいて,エネルギーを0.95 mJに固定し,パルス幅依存性を評価した.パルス幅が短い条件では大気の絶縁破壊閾値以上のレーザー強度となり,非線形現象が顕著となりフルエンスが低下し,ピーニング効果が低下する.一方,パルス幅が長い条件では熱影響が増加し,ピーニング効果が低下する.以上より,大気の絶縁破壊閾値を超えるレーザー強度を用いたドライレーザーピーニングでは最適なパルス幅が存在する.