10:30 〜 10:45
[18a-Z11-7] 高解像度X 線イメージング検出器の広視野化
キーワード:X線、空間分解能、イメージング検出器
投影型X 線CT の適応試料の拡大のため、空間分解能と広視野を両立したX線イメージング検出器の検討を進めている。14,192 x 10,656ピクセル高解像度CMOS カメラの導入と大きなイメージサークルを持つ高NA光学系の開発を計画しており、~200 nm line & space を解像できる空間分解能と~2 mm 角の視野を目標性能とした。本講演では開発計画の紹介と進捗の報告を行う。