[18a-Z16-1~8] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

[18a-Z16-4] 金ナノパターン上のジチオールで修飾した金属ナノ粒子の配列制御

〇山本 洋揮¹、古澤 孝弘²、大谷 文章³ (1.量研高崎、2.阪大産研、3.北大 ICAT)

キーワード：電子線、リソグラフィ、金属ナノ粒子

次世代リソグラフィ用レジスト材料に求められる要求が非常に厳しくなってきており、トップダウン型微細加工技術の代表であるリソグラフィの限界が唱え始められている。それゆえ、トップダウンとボトムアップを融合した革新的な微細化加工技術が求められている。本研究では、トップダウンリソグラフィ技術の電子線リソグラフィと金-チオールとの反応を巧みに利用して金属ナノ粒子の位置制御を試みた。