2021年第68回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

7 ビーム応用 » 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

[18a-Z16-1~8] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

2021年3月18日(木) 09:00 〜 11:15 Z16 (Z16)

山本 治朗(日立)、谷口 淳(東理大)

10:15 〜 10:30

[18a-Z16-5] ディープラーニングを利用したナノインプリントプロセス・材料の設計

塚本 創1、亀山 開1、田邉 英毅1、山村 龍平1、川田 博昭1、安田 雅昭1、〇平井 義彦1 (1.阪府大工)

キーワード:ナノインプリント、設計、ディープラーニング

多様な材料に対するプロセス設計では、材料のレオロジー特性をはじめとする物理・化学特性の把握が必要となるが、実験的に測定が困難な場合が生じることがある。そのため、限られた情報から経験に基づくプロセス設計を行う必要があった。ここでは、これまでの実験ならびにシミュレーション解析で得られた知識データベースをもとに、物理・化学的な意味づけが可能なニューラルネットワークを試作し、最適な材料・プロセス条件を推定するシステムの構築を試みた。