[18a-Z17-1~11] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

△ [18a-Z17-8] 中圧水素プラズマによるナノポーラス銀表面の創成

〇(M1)関戸 拓郎¹、安東 卓洋¹、垣内 弘章¹、安武 潔¹、大参 宏昌¹ (1.阪大院工)

キーワード：水素プラズマ、ナノポーラス、銀

ナノポーラス化された金属表面は、触媒、センサーなど種々の応用が期待される機能化表面である。従来の作製法は、高温環境や有毒・高価な薬品が必要なため種々の問題がある。本研究では、無毒・廉価な水素ガスによる局在プラズマを用い、微量化学物質検出のためのナノポーラス化銀表面の創成を試みている。今回は、高密度水素プラズマに曝露した際の、ナノポーラス銀の形成特性を調査し、形成メカニズムを考察した結果を報告する。