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[18a-Z20-1] 有機圧電体P(VDF-TrFE)の電気特性の溶媒依存性評価
キーワード:圧電体、PVDF
P(VDF-TrFE)は、優れた圧電特性や焦電特性を有する代表的な強誘電ポリマーである。我々は、数mmの膜厚を有するP(VDF-TrFE)薄膜を用いて高感度な圧電MEMS超音波トランスデューサー(pMUT)の実現を目指している。P(VDF-TrFE)においては、膜中に多くの欠陥が存在し、電圧印加によって多くの電荷がトラップされると報告されている。そこで本研究では、薄膜を作製する際に用いる溶媒が、P(VDF-TrFE)の微構造や電気特性に及ぼす影響について調べた。