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[18p-Z17-14] リフレクトロン型飛行時間質量分析計を用いた Deep Oscillation Magnetron Sputtering(DOMS)のイオン組成分析
キーワード:スパッタリング、マグネトロンスパッタリング、飛行時間質量分析法
櫛型の放電波形を用いたDeep Oscillation Magnetron Sputtering(DOMS)は、大電力かつアーキングを回避するロングパルススパッタリング法として、DLC成膜を中心に注目されている。現在、DOMSに関する研究は成膜特性に集中しており、スパッタリングの素過程に関する検討はこれからの段階にある。本研究では櫛型放電波形の成形により生成するDOMSプラズマについて、飛行時間型質量分析法(TOFMS)を用いたイオン組成分析を行い、DOMSのスパッタリング過程について検討を行う。