[18p-Z27-1~14] 11.5 接合，回路作製プロセスおよびデジタル応用

[18p-Z27-11] 単一磁束量子信号処理回路がモノリシック集積化された超伝導ナノワイヤ単一光子検出器アレイシステムの設計及び作製プロセスの検討

〇宮嶋 茂之¹、藪野 正裕¹、三木 茂人^1,2、山森 弘毅³、永沢 秀一³、日高 睦夫³、寺井 弘高¹ (1.情通機構、2.神戸大、3.産総研)

キーワード：超伝導ナノワイヤ単一光子検出器、単一磁束量子回路