[19a-Z02-1~8] 1.5 Instrumentation, measurement and Metrology

[19a-Z02-4] Development of a miniaturized CRDS-based trace-moisture analyzer using wavelength-scanned cavity ring-down spectroscopy

〇Hisashi Abe¹, Koji Hashiguchi¹, Shinichi Honda², Tomoki Miyake², Hiroyuki Shimizu² (1.AIST, 2.Shinyei Technology)

Keywords:trace moisture, laser absorption spectroscopy, humidity

キャビティリングダウン分光法(CRDS)は超高感度なレーザー吸収分光法の一種であり、ガス中の微量成分の検出、特にモル分率1 μmol/mol (1 ppm)以下の領域の微量な水蒸気(微量水分)の計測に威力を発揮する方法である。しかし、現状の市販CRDS微量水分計はサイズが大きく、そのため応用先が制限されている状況にある。この問題に対応するため、私たちは小型CRDS微量水分計の開発を行っている。小型化に伴う課題の一つに分解能の低下があり、これによって吸収線の中心波長での測定が困難となり、測定の精度・感度が低下する問題がある。これに対処するため、ダイオードレーザーの駆動電流を掃引して波長掃引を行い、得られた吸収スペクトルを解析することで水分濃度を決定する方法(波長掃引CRDS)を採用した。